Способ управления процессом ультразвукового распыления (2465965)

Изобретение относится к химической, микроэлектронной и другим отраслям промышленности и может быть использовано для построения ультразвуковых распылителей. В способе управления процессом ультразвукового распыления жидкостей при осуществлении процесса контролируют амплитуду тока, являющегося разностью между током, протекающим через пьезоэлектрические элементы преобразователя колебательной системы, и реактивной емкостной составляющей этого тока, обусловленной собственной электрической емкостью пьезоэлектрических элементов. Увеличение или уменьшение амплитуды электрического напряжения, подаваемого от электронного генератора на пьезопреобразователь, осуществляют на основании сравнений контролируемых по току и электрическому напряжению значений импеданса жидкости, подвергаемой распыливанию со среднеарифметическим значением импеданса этой же жидкости, измеренным перед началом распыливания и собственным импедансом пьезопреобразователя колебательной системы. Увеличение или уменьшение амплитуды электрического напряжения производят до момента, пока измеренное значение импеданса не будет соответствовать среднеарифметическому значению между импедансом жидкости, измеренным перед началом распыливания и собственным импедансом пьезопреобразователя колебательной системы. Техническим результатом изобретения является повышение эффективности процесса за счет обеспечения автоматического установления оптимальных режимов ультразвукового воздействия и толщины слоя распыляемой жидкости, позволяющих осуществлять распыление с максимальной эффективностью и исключить возможность появления «срывов распыления». 5 ил.