Ультразвуковое распыление жидкостей: прецизионное нанесение покрытий
Нанесение тонких покрытий — ключевая операция в электронике, фармацевтике, производстве медицинских изделий и лабораторных исследованиях. Традиционные форсунки дают широкий спектр капель, забиваются и теряют до 60% материала. Ультразвуковое распыление решает эти проблемы: монодисперсный аэрозоль, коэффициент переноса до 99%, невозможность засорения.
Принцип действия
Ультразвуковая распылительная головка преобразует электрический сигнал в механические колебания вибрирующей поверхности. Жидкость подаётся на эту поверхность и под действием капиллярных волн распадается на капли строго определённого размера. Размер задаётся частотой, расход — скоростью подачи насоса. Два параметра регулируются независимо, что невозможно в форсунках.
Ключевые преимущества
- Монодисперсный аэрозоль: 10–100 мкм, распределение ±5% от номинала.
- Коэффициент переноса до 99%: капли осаждаются мягко, без отскока и тумана.
- Самоочистка: вибрация предотвращает забивание — работа с суспензиями без фильтрации.
- Равномерность покрытия ±2%: повторяемость от детали к детали.
- Независимая регулировка расхода и дисперсности: гибкая настройка под рецептуру.
Области применения
- Электроника: нанесение фоторезистов, адгезивов и защитных покрытий на платы и микросхемы.
- Медицина: покрытие имплантатов и стентов лекарственными составами, ингаляционные аэрозоли.
- Лаборатории: дозированное распыление образцов для масс-спектрометрии и аналитической химии.
- Производство порошков: получение микросфер с контролируемой морфологией.
Масштабирование
Параметры, отработанные на лабораторной установке серии «Волна», напрямую переносятся на пилотные аппараты серии «Волна-М» и «Волна-П» и промышленные системы серии «Булава-П». Для увеличения производительности несколько распылительных головок объединяются в кластер — суммарный расход до 5 литров в минуту.